直线超声振动电机在工作时，由于受到温度、负载、预压力等因素的影响，很难保证开环运行精度和稳定性。因此，基于直线超声振动电机的运动平台如果需要获得比较理想的运行精度和稳定性，就需要在运动中引入适当的闭环控制，才能发挥直线超声振动电机在平台应用中响应快，分辨率高等优越性。
由于连续运动结束阶段振动电机在较高的速度运行时突然停止，导致在惯性偏移阶段产生震荡，虽然程序里记录了该段震荡，并在最后的步进逼近中消除了该段的影响，使得最终定位达到了要求，但是这种情况体现了平台的不稳定性。同时，在某些应用场合，例如生物细胞穿刺的过程中，要求振动电机运行的单向性和稳定性，以上情况并不能满足要求。
在振动电机的运行过程中进行调速，以较低的速度启动和停止，同时为了使得振动电机在惯性漂移过程中的震荡较小，连续运行的最后过程中以步进运动作为结束。
为了使直线超声振动电机良好进行，国内外专家研究了多种不同的控制算法，包括 PID 控制、模糊控制、自适应控制、神经网络控制、混合控制等。然而直线超声振动电机影响因素众多，无法得出通用的数学模型，复杂的控制算法依然难以实施。PID控制由于其结构简单、稳定性好、工作可靠、调整方便，是目前在工业控制中使用最广泛的技术之一，当被控对象的结构和参数不能完全掌握，或得不到精确的数学模型时，应用PID控制技术最为方便，调节PID的参数，可实现在系统稳定的前提下，兼顾带载能力和抗干扰能力，具有较宽的稳定裕度。